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                                          關注公司技術
                                          產品名稱:XYZ直線電機滑臺
                                          產品概要:
                                          -- 直線軸XYZ納米級定位精度;
                                          -- 精密交叉滾柱導軌。
                                          -- 主體鋁合金材質
                                          產品精度:
                                          -- XY軸重復精度±100nm
                                          -- Z軸重復精度±200nm
                                          產品名稱:XYθ平臺
                                          產品概要:
                                          -- 直線軸XY+旋轉軸θ電機平臺;
                                          -- 小行程精密運動場合;
                                          產品精度:
                                          -- XY軸重復精度±0.5μm
                                          -- θ旋轉軸精度±2.5arcsec
                                          產品名稱:耦合平臺
                                          產品概要:
                                          -- 直線軸XYZ+旋轉軸ABC共6軸電機平臺;
                                          -- 適用光纖耦合;
                                          產品精度:
                                          -- XYZ軸重復精度0.3μm
                                          -- ABC旋轉軸重復精度±1.5arc sec
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